(PL2)2次元FFTによる2次元干渉像の位相検出

 2次元面内変位を同時に測定するために,2開口板の代わりに4開口板を置いた4開口レーザスペックル干渉計を提案します. この干渉計で得られる格子状干渉像の2次元変位を検出すれば,被測定体の変位を非接触で測定することができます. 従来は相関法によるパターンマッチングを行って変位を求めていましたが,膨大な計測時間を要するので, 新たに2次元フーリエ変換によって位相を検出する手法を提案しました. これまでに,4開口法による干渉像の位相と光強度分布の位相スペクトルの関係を明らかにし, 雑音を含む干渉像でも高速,高精度で位相検出できることを明らかにしました.
Fig.1
4開口法光学系
Fig.2
Fig.3
光強度分布と2次元FFTの位相スペクトル