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| 圧電パイプモルフアクチュエータ | 100ミクロン径チタン線上のPZT圧電セラミクス薄膜 |
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（PH1）マイクロ繊毛アクチュエータ群の研究
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実用的なマイクロ移動ロボット，マイクロ搬送機を開発するために圧電パイプモルフアクチュエータを多数基板上に林立させたマイクロ繊毛アクチュエータ群の製作法・制御法について研究しています．
静電植毛法による内部電極群の形成，水熱合成法によるPZT圧電セラミクス薄膜の形成，選択的蒸着による外部電極の形成からなる製造プロセスを提案し，アクチュエータの試作に成功しています．
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