(PL1)4開口法レーザスペックル干渉計による2次元面内変位の実時間測定

 2次元FFTによる2次元干渉縞位相検出法をアナログ電子回路により実時間で実行する2次元面内変位測定機を開発しています. これまでに,精度検証実験を行い,誤差要因分析を行い,高精度化手法を提案しました. さらに,実時間データ処理回路を開発中です.
Fig.1 Fig.2
実験用ソフトウェア 4開口法レーザスペックル干渉計外観写真