＊本研究は株式会社ミツトヨとの協同研究です．
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| ２次元超音波アクチュエータ |
２次元超音波アクチュエータを用いた 精密回転・直動モータ |
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（PH9）２次元超音波アクチュエータによる多自由度モータ
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１台で複数の運動が可能な小形多自由度モータを開発するために，振動棒に４本の積層圧電素子を貼り付け，それらへの高周波パルス電圧をチョッパ制御することに振動棒の先端に任意の方向の楕円運動を生じさせ，そこに押し付けられた物体の面内２次元変位を得る２次元超音波アクチュエータを提案しました．
さらに，２本の２次元超音波アクチュエータで丸棒を駆動する精密回転・直動モータを開発しました． ＊本研究は株式会社ミツトヨとの協同研究です．
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