（PL4）２開口法レーザスペックル干渉計の測定精度

　２開口法レーザスペックル干渉計の測定精度の検定実験を行い，誤差要因分析を行った． その結果，レーザ照射体の変位に伴う，干渉縞内の位相変動がもっとも測定誤差に影響を与えることが明らかになった． さらに，円筒レンズを用いて干渉縞を縞方向に積分することにより，平均化効果のために測定精度が向上することがわかった．
Fig.1 Fig.2
試作した２開口法レーザスペックル干渉計 干渉縞内の位相変動と測定誤差の関係
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